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常压MOCVD制备MgO薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文首次报道用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)在Si(100),SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上外延高质量的MgO薄膜。研究了衬底温度与薄膜的取向性关系和MgO薄膜的潮解特性。高纯magnesiumacetylacetonate[bis(2,4-pentanetane-diono)magnesium][Mg(CH2COCH2COCH3)2]作为金属有机源,扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM)和X-RAY衍射实验显示,在较低的衬底温度(~480℃)下一次淀积成单晶膜。薄膜均匀,致密,结晶性和取向性很好,衬底温度(Ts)在400℃到680℃之间,在Si(100)衬底上生长的MgO薄膜都具有[100]取向,在Si(100)、SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上生长的MgO薄膜也都具有[100]取向。 相似文献
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对于地震多发国的日本,要想让新型动力堆付诸实用,确保抗震安全性是至关重要的。能够大幅度降低地震负荷的减震技术是一项有效的技术,不仅可以确保新型动力堆的抗震安全性,还可期待提高电站的经济性。不过,以往的水平减震技术对于水平的震动虽然有效,但垂直的震动却按原样传导,其来势凶猛,致使厂房设计有时不能达到充分的合理化。本文所介绍的内容来源于经济产业省的一项委托研究,介绍从2000年开始到2004年间开发的三维减震系统的原理,以及使用缩小尺寸的试验装置所进行的性能确认试验。 相似文献
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