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一、引言目前,四极质谱计已广泛地用于真空系统内残余气体分析。原则上,任何一种已校准的质谱计都能用来进行真空系统内气体组分的定量分析。这种校准通常包括两个方面:图形系数和灵敏度的校准。关键的问题是要取得图形系数的好的重复性。到目前为止,有关用四极质谱计作定量分析的报道是不多的,有关图形系数重现性的报道更为少见。根据工作原理和结构,四极质谱计的质量岐视比其它质谱计,如回旋质谱计、磁偏转质谱计更为严重。因此,四极质谱计的图形系数是和其它质谱计不同的。造成图形系数变化的原因除了离子源工作条件外,主要是边缘场和分析场的质量岐视。 相似文献
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该密封剂是一种有机硅材料。它是无色透明的液体,对金属、陶瓷、玻璃和塑料有很强的浸润性。用于高真空系统的微孔密封,其主要特点是:①粘度低,浸润性好,渗透力强;②可在350℃下耐烘烤处理;③能经受—190℃至350℃的高、低温交替冲击;④放气率低(≤ 相似文献
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在质谱分析技术中,四极质谱计很有前途。但在长期使用中,四极探头的污染可导致仪器灵敏度下降和离子谱的显著变化,这就限制了仪器的应用。对于一个污染严重的四极探头,目前还只能用机械研磨的方法来清洗,这给使用者带来很大困难。因此,研究形成污染的主要因素并寻找较易解决污染的方法是十分必要的。本实验在一个有油真空系统中,观察四极质谱计对氧的灵敏度和离子谱的变化。实验结果表明:在有油情况下,氧可以加速离子源的污染。从污染件的俄歇分析看出,污染物由碳、硅、氧等组成,它可能为二甲基硅氧烷烃环多聚体(Me_2SiO)_n 交织成网状结构形成块状 相似文献
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