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以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。 相似文献
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研究如何将无线传感器网络技术应用在蔬菜大棚生产过程中,实现对蔬菜生产的信息化控制。利用无线传感器网络成本低、随机分布、可动态组网、安全可靠、扩展性强等特点,对蔬菜大棚生产过程中影响蔬菜生长的环境因素和生产过程进行实时、连续的跟踪与监控。首先从温度和湿度(空气、土壤)监控开始,逐步扩大到对光照强度、氧气和二氧化二碳浓度以及土壤酸碱度等其他环境因素的监控;从施肥环节开始,逐步扩大到对产品的整个生产流程与生命周期的监控。 相似文献
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我国自2010年制造业增加值首次超过美国成为全球制造业第一大国后,已经连续多年保持世界第一制造大国地位,但与世界制造强国相比还有很大差距.工业软件发展较慢是制约我国从制造大国发展成为制造强国的重要原因.在国际工业软件巨头基本形成垄断生态系统的格局下,知识自动化将成为我国发展工业软件的突破口.我国知识自动化产业可从公共服... 相似文献
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