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蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
通过反射高能电子衍射仪(RHEED)分析蓝宝石衬底在经过双热电偶校温的ECR-PEMOCVD装置中清洗氮化实验表面晶质的RHEED图像,研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底清洗、氮化的实验.结果表明,经常规清洗后的蓝宝石衬底表面晶质差异较大,有些衬底再经通常的30min等离子体清洗是达不到要求的,而要根据情况施行分步清洗才能清洗充分,清洗充分的衬底经20min就可氮化出来,不充分的再长的时间也很难氮化. 相似文献
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GaN薄膜生长实时监控系统的实现 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套监控系统,用于GaN外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略. 相似文献
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煤田生成条件一般分3个方面:一是古植物要繁茂;二是古气候要湿润;三是古构造及古地理的控制因素。因此对上述3个条件进行实地和理论相结合的研究、探讨,对寻找其新能源有一定的指导意义。 相似文献
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