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1.
通过对岩浆岩共生组合关系的探讨可以再造其形成的地质构造环境,从而对岩浆岩分布区的煤田地质勘探进行有效的预测。  相似文献   
2.
标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究   总被引:3,自引:2,他引:1  
在经过校温的ECR-PEMOCVD装置上,通过分析RHEED(反射高能电子衍射)图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验,结果表明:经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大;按照经验清洗30min是不能清洗充分的,那么根据情况进行多步清洗就显得很重要了;结果表明清洗得很充分的衬底经20min的氮化出来,而未清洗充分的衬底20min或更长的时间是不能氮化出来的。  相似文献   
3.
蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过反射高能电子衍射仪(RHEED)分析蓝宝石衬底在经过双热电偶校温的ECR-PEMOCVD装置中清洗氮化实验表面晶质的RHEED图像,研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底清洗、氮化的实验.结果表明,经常规清洗后的蓝宝石衬底表面晶质差异较大,有些衬底再经通常的30min等离子体清洗是达不到要求的,而要根据情况施行分步清洗才能清洗充分,清洗充分的衬底经20min就可氮化出来,不充分的再长的时间也很难氮化.  相似文献   
4.
通过在自制的电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积 (ECR -PEMOCVD)系统上装配反射高能电子衍射仪 (RHEED) ,对外延GaN生长过程进行原位监测。通过分析研究RHEED图像确定衬底清洗、氮化、缓冲层生长、外延层生长的合适条件  相似文献   
5.
GaN薄膜生长实时监控系统的实现   总被引:1,自引:0,他引:1  
曲钢  徐茵 《半导体技术》2004,29(9):70-73
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套监控系统,用于GaN外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略.  相似文献   
6.
煤田生成条件一般分3个方面:一是古植物要繁茂;二是古气候要湿润;三是古构造及古地理的控制因素。因此对上述3个条件进行实地和理论相结合的研究、探讨,对寻找其新能源有一定的指导意义。  相似文献   
7.
作业成本法(简称ABC法)是20世纪80年代由美国会计学者创建的,它的产生和发展给现代成本管理带来一场新的革命,它对企业管理产生了多方面深远的影响。2001年,中国石油大连石化公司率先将这一前沿理论引入公司成本管理工作,开发了《基于作业的成本管理信息系统》,把成本管理的重心由传统的“产品”层次深入到“作业”层次, 实现了由“结果控制”向“过程控制”的转变,是推进企业财务管理工作持续深化的一次有益探索和尝试。  相似文献   
8.
综述了半导体低维结构以及镓基砷化物、氮化物材料量子点的发展,涉及了外延生长机理、量子点的形貌结构特征,并着重介绍了镓基氮化物材料量子点的制备方法、研究的现状、面临的困难、应用发展现状,并对其未来研究趋势提出了看法。  相似文献   
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