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In this paper,A12O3 thin films are deposited on a hydrogen-terminated Si substrate by using two home-built electron cyclotron resonance (ECR) and magnetic field enhanced radio frequency plasma-assisted atomic layer deposition (PA-ALD) devices with Al(CH3)3 (trimethylaluminum,TMA) and oxygen plasma used as precursor and oxidant,respectively.The thickness,chemical composition,surface morphology and group reactions are characterized by in situ spectroscopic ellipsometer,x-ray photoelectric spectroscopy,atomic force microscopy,scanning electron microscopy,a high-resolution transmission electron microscope and in situ mass spectrometry (MS),respectively.We obtain that both ECR PA-ALD and the magnetic field enhanced PA-ALD can deposit thin films with high density,high purity,and uniformity at a high deposition rate.MS analysis reveals that the A12O3 deposition reactions are not simple reactions between TMA and oxygen plasma to produce alumina,water and carbon dioxide.In fact,acetylene,carbon monoxide and some other by-products also appear in the exhaustion gas.In addition,the presence of bias voltage has a certain effect on the deposition rate and surface morphology of films,which may be attributed to the presence of bias voltage controlling the plasma energy and density.We conclude that both plasma sources have a different deposition mechanism,which is much more complicated than expected. 相似文献
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Maiju Pyk 《中国印刷与包装研究》2010,2(3)
采用碳氟化合物、有机硅化合物及碳氢化合物的等离子体涂层对渗透性颜料涂料纸进行表面改性,并研究其对UV光油吸收性的影响.通过水银孔隙率法的测试结果,得出等离子体涂层对纸张多孔结构没有影响的结论.采用X射线光电子能谱(XPS)和飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)表征3种等离子体涂层的表面化学组分.碳氟化合物的等离子体涂层使UV光油接触角得到明显增加,而碳氢化合物的等离子体涂层对UV光油接触角没有明显的影响.当UV光油应用于一个存在压印力的凸版印刷单元时,表面化学组分的作用似乎变得很小.另外,本文还研究了在有无外部压力的情况下,UV光油黏度对吸收率的影响. 相似文献
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低活化比富微孔炭质天然气吸附剂的制备工艺条件研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在低活化比[m(KOH):m(C)=2:1]前提下,以抚顺石油一厂的石油焦为原料,以KOH为主要活化剂,采用分步复合活化工艺,着重考察了原料、活化温度、活化时间、活化助剂及其用量等因素对吸附性能的影响,获得了低活化比下制备高性能天然气吸附剂的优化工艺条件:原料:100-120目石油焦:活化助剂Cy-1用量:m(Cy-1):m(C)=1:10;预活化条件:320℃保持60min;活化条件:820℃保持90min。按照该条件制备的低活化比粉状吸附剂质量吸附量达到13.5%,重复性较好。 相似文献
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双环戊二烯制备戊二醛工艺的中型试验 总被引:2,自引:0,他引:2
进行了利用乙烯裂解副产物双环戊二烯 ( DCPD)经高温气相解聚、选择加氢、催化氧化制备戊二醛的中型试验 ,确定了 DCPD高温解聚工艺条件 :反应器管壁温度 3 50~ 3 70℃ ,n ( DCPD)∶ n ( N2 ) =1 .0∶ ( 1 .0~1 .5) ,停留时间 3 .5~ 1 0 .0 s,环戊二烯 ( CPD)收率大于 90 % ;CPD选择加氢转化率 1 0 0 % ,环戊烯 ( CPE)选择性达 97% ,精制单元总收率 95% ;CPE氧化制戊二醛的收率达 60 %。戊二醛过程总收率达 50 % ,经应用实验表明 ,产品达到市场同类产品水平。 相似文献
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对双环戊二烯(DCPD)气相解聚制备环戊二烯(CPD)的工艺进行了改进。在原 DCPD 气相解聚工艺的基础上增加了汽化器、预热器和 N_2切线进料。在改进的工艺下,考察了 N_2用量、原料 DCPD 的停留时间对 DCPD 解聚率的影响。实验结果表明,优化的 DCPD 解聚条件为:n(N_2):n(DCPD)=1:1,解聚温度280℃,停留时间8 s。在优化的操作条件下,在500 k/d 规模的中试装置上进行了1000 h 连续运转实验。中试结果表明,连续运转1 000 h 后,DCPD 的解聚率仍保持在99.0%,反应器没有出现结焦现象。 相似文献
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天然气中微量组分对吸附剂性能的影响 总被引:4,自引:0,他引:4
考察了天然气吸附剂LXC对天然气中微量组分C2H6,C3H8,CO2,N2的吸附和脱附特性及其对CH4吸附能力的影响。实验结果表明,天然气吸附剂LXC吸附CH4,C2H6,C3H8的吸附量依次增大,滞留比依次减小,不可逆吸附性增强;CO2在吸附剂上的吸附量和滞留量较大;N2的可逆吸附与脱附性能较好;天然气中C2H6,C3H8,CO2均能导致吸附剂LXC吸附CH4的能力降低。在20℃、充气压力3.5M Pa、放气压力0.1M Pa的条件下,吸附剂LXC对配制的混合气体经12次连续吸脱附后,其吸附能力下降27.5%。 相似文献
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正丁醛氧化制备正丁酸工艺过程研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在反应温度50-60℃,氧醛摩尔比0.75-0.875,催化剂与正丁醛的质量比0.1%-0.2%,反应时间为3h左右的优化的工艺条件下进行了正丁醛氧化制正丁酸的研究。结果表明:在优化的工艺条件下正丁醛的转化率在99.5%以上;正丁酸的选择性超过了95.0%。 相似文献
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