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利用反应式磁控溅射镀膜系统在蓝宝石衬底上制备了氮化铪(HfxN)薄膜,系统研究了氮气流量fN和镀膜温度Ts对HfxN薄膜的物相组成、晶体结构和电学性质的影响。实验结果表明,在fN=3sccm时,可以在蓝宝石衬底上获得化学计量比接近1的HfxN薄膜,方块电阻为5.24Ω/sq;X射线衍射光谱(XRD)结果显示薄膜为岩盐结构的δ-HfN相;提高镀膜温度可以显著提高HfxN薄膜在蓝宝石衬底上的晶体质量,并且薄膜趋于(111)方向单晶生长;原子力显微镜(AFM)显示薄膜表面平整,均方根粗糙度Rq=0.193nm。 相似文献
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以宝天曼隧道工程为例,详细介绍了监控量测的目的、原则及量测项目,并具体阐述了对监测资料进行分析、预测和反馈的具体步骤,通过对实际监测数据进行分析,得出了相关结论,为同类隧道工程的监控量测积累了经验。 相似文献
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本文主要结合工程实例,介绍管道长距离穿越复杂岩、土层的敷设方案,尤其是穿越岩、土互换土层情况下的设计方案,可供类似工程设计参考。 相似文献
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结合工程实际从设计角度对曲线钢顶管的关键技术提出一定的理论分析及初步研究,探究曲线钢顶管设计需注意的关键技术环节,供相关工程参考. 相似文献
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在河南某火力发电厂扩建工程中,对整个供氢系统进行了深入分析。根据节约投资、减少运行费用的要求,结合目前国内火力发电厂常用的氢气供应系统和电厂原有供氢系统,并考虑当地氢气气源状况、用户对氢气纯度、杂质含量及压力的要求等,通过技术、经济比较,为全厂选用了技术可靠、经济合理的氢气供应系统。 相似文献
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装配式混凝土结构是一种在房建工程中,越来越受人们欢迎的施工技术。笔者通过对装配式混凝土结构施工技术的探讨,分析了其施工特点和关键技术要点,并总结了相关的结论。 相似文献