用于光刻系统仿真的多边形处理算法

为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193nm,数值孔径为0.3~0.8,部分相干系数可调范围为0.2~0.8,可一次性仿真1μm×1μm到10μm×10μm范围内的45 nm~0.18μm工艺的复杂版图,并通过多次实验进行验证。实验结果表明:原版图图像的边缘细节得到保留,且该算法有效地减少了光刻模拟的计算复杂度与计算时间,整体效率提升20%以上,为当前智能传感器系统芯片的制造节省了宝贵时间。     

圈闭评价与油气勘探决策

圈闭综合评价是依据圈闭条件、石油地质条件、经济条件,综合反映圈闭品质的过程.综合评价的结论可直观地、快捷地为勘探决策提供重要依据.本文在综合分析准噶尔盆地已知油气藏和已钻圈闭的石油地质研究成果的基础上,进行了评价参数归类和参数的选值方法的研究,这对提高圈闭评价结果的可靠性具有重要意义.