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本文采用直流反应磁控溅射方法,通过溅射(CrMoTaNbV)镶嵌靶和纯Ti靶制备了(CrMoTaNbVTi)N多主元氮化物薄膜。研究了不同氮气流量比RN对(CrMoTaNbVTi)N薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学性能的影响。结果表明,当RN=0% 和10%时薄膜为简单的体心立方结构,当RN=20%、30% 和40%时为简单的面心立方结构。随着氮气流量比RN的增大,表面颗粒逐渐减小,断面柱状晶更为致密,同时(CrMoTaNbVTi)N薄膜的残余应力、膜基结合力、硬度和弹性模量逐渐增大,且当RN=40%时达到最大值,分别为-3.3 GPa, 352 mN, 25.6±1.2 GPa 和 278.8±11.2 GP。RN =40%制备的氮化物薄膜具有最小的比磨损率,相较合金薄膜降低了约1个数量级,表现出优异的耐磨损性能。 相似文献
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采用直流反应磁控溅射分别在200、250、300和350℃条件下沉积类富勒烯碳氮薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)表征薄膜的微观结构形貌,采用薄膜综合性能测试仪以及通过大气球盘摩擦试验研究薄膜的力学性能及摩擦学性能。结果显示:制备的类富勒烯CN_x薄膜中存在sp~2C-C、sp~2N-C和sp~3C-N化学键;随着沉积温度的升高,薄膜的结构变得更加致密,硬度、弹性模量以及弹性恢复系数逐渐增大,摩擦因数和磨损率降低;沉积温度为350℃制备的薄膜摩擦因数和磨损率最低,表现出优异的耐磨损性能。 相似文献
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氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
目的在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜,提高9Cr18钢表面强度。方法采用非平衡直流磁控溅射技术,在沉积温度为300℃的Ar和N2混合气氛中溅射C靶,制备类富勒烯CNx薄膜。利用XPS、Raman光谱、SEM研究了类富勒烯CNx薄膜的微观结构,利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机研究了CNx薄膜的力学性能和摩擦学性能。结果类富勒烯CNx薄膜中存在sp2 C—C、sp2 N—C和sp3 C—N化学键,类富勒烯结构的CNx薄膜的ID/IG比值较高且G峰向低峰位移动。随着氮气流量的增加,薄膜的硬度和弹性恢复系数先增大后减小,薄膜的硬度和弹性恢复系数越高,其磨损率越低。结论氮气流量为10 m L/min时制备的CNx薄膜具有较高的硬度和弹性恢复系数以及较低的摩擦系数和磨损率。在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜能显著提高其表面强度。 相似文献
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以常用精密二硫化钼固体润滑球轴承为研究对象,采用摆动试验装置,在真空环境中研究其在小角度往复运动工作模式下的摩擦力矩、磨损形貌、使用寿命。结果表明:在真空环境中小角度往复运动模式下,二硫化钼固体润滑轴承摩擦表面不能够形成有效的转移润滑膜,因而轴承摩擦力矩增大,滚道磨损严重,且在一定范围内摆动角度越小、摆动频率越高,轴承的摩擦力矩增加越大、滚道磨损越严重;工作在小角度往复摆动模式下二硫化钼固体润滑球轴承的运转寿命远小于同等接触应力条件下单向运转时的轴承运转寿命。 相似文献
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二连盆地强干扰区地震采集方法探讨 总被引:2,自引:2,他引:0
二连盆地地震反射资料频率及信噪比低的原因是,区内地表为第四系泥沙覆盖,岩石松散,目的层埋深浅,小断层发育以及环境噪声等,这些因素极大地影响了采集资料的质量。针对二连盆地的上述地质特征及环境因素,进行了多种不同检波器组合方式的试验,并对获得的资料作了对比分析,采用了在胶泥层激发和平行线性组合检波方式接收的方法,使资料的品质得到了明显的改善。 相似文献