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新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器 总被引:2,自引:1,他引:2
介绍了一种用硅微加工技术制作的NiTi/Si 薄膜结构的双向微驱动器。它利用NiTi 形状记忆合金薄膜(SMA) 大的相变回复应力和Si 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对NiTi 薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大,双向效应显著,响应速度提高。同时图形化后的NiTi 膜也是加热电阻,使驱动结构简单,所需功率减少。驱动器实际驱动面积为3 ×3m m2 厚度为20μm 。可产生的最大位移为50μm ,最高驱动频率可达100Hz。驱动功率可减小到200m W。经过1000 万次振动后,驱动膜无开裂,性能正常。它已被成功的应用于压缩型微泵,该泵最大流量达340μL/min 。 相似文献
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对于线性调频脉冲信号 ,设置一个称为湖明函数的幅度加权函数 ,以便进一步增加它的输出信号的主副瓣比 ,多普勒频率范围也拓宽许多。描述经湖明函数加权的线性调频信号的各基本性能 ,并与海明函数和泰勒函数加权的线性调频信号性能列表比较 相似文献
6.
发射极电流集边效应理论的SPICE模拟验证 总被引:4,自引:0,他引:4
发射极电流集边效应是由晶体管基极电阻的自偏压引起的 ,描述该效应的微分方程早已建立 ,这里设计了一种用 SPICE验证精确解 /近似解的新方法 .结果表明 :近似解是在 V( x) VT 的前提条件下求得的 ,仅在弱注入区和中等注入区适用 ,不能给出在强注入区和极强注入区的归一化电位和电流密度的分布函数 ;相反 ,基于精确解的理论却能给出从弱注入区到极强注入区的归一化电位和电流密度的分布函数 ,且与用 SPICE模拟得到的结果吻合 .结论是 :从整体来看 ,精确解的理论比近似解的理论描述该效应要稍好一些 ,因为前者的适用范围比后者宽 .应当强调指出 ,该效应 相似文献
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在不同条件下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。薄膜的电子结构和元素成分用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和光电子能谱 (XPS)进行分析 ,薄膜的光学性质用紫外可见近红外光谱 (UV)进行检测。薄膜中的最大氮原子含量达到 0 .4 7,C1s和N1s电子的结合能产生了 2 .4 1~ - 1.7eV的移动 ,移动的大小取决于制备条件。UV谱表明氮化碳薄膜能强烈地吸收紫外光 ,而对红外光有较好的透明性 ,在 2 72 0nm附近存在一明锐的吸收峰 ,并给出了形成这一明锐吸收峰的适宜条件。这些结果对作为保护光学涂层的红外应用是有意义的。 相似文献
10.
作为一种高透水材料,透水混凝土因其孔隙易被堵塞、渗透性降低,影响其性能和使用。针对透水混凝土的堵塞问题,使用了一种常水头试验装置。为了研究真实情况下雨水径流对透水混凝土渗透性的影响,模拟了雨水径流中砂的级配,并将其作为堵塞材料用于透水混凝土的渗透性影响研究。利用再生骨料替代天然骨料制备了透水混凝土,以归一化渗透系数作为指标,对3种不同孔隙率的透水混凝土进行堵塞实验,研究了不同加砂次数对其渗透性的影响。当孔隙率为15%时,第一次加入堵塞材料后,其归一化渗透系数折减最大,而当孔隙率为25%时,前几次加入的堵塞材料对其渗透性的影响较小。试验结果表明,堵塞物相同时,加砂后透水混凝土的归一化渗透系数与透水混凝土孔隙率成正比,与堵塞次数成反比。 相似文献