微机电系统的研究与分析

详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.     

多孔硅的能带变化及光致发光的研究

多孔硅与硅材料相比，有明显的可见光致发光特性，其原理可用量子限制模型给予解释。文章通过对多孔硅的光致发光、光电子辐射、光电效应和X光吸收方面的实验的讨论，研究了退火对多孔硅导带和价带边缘的量子漂移的影响。对于大多数多孔硅，过高的退火温度可造成多孔硅的导带和价带边缘的量子漂移的改变。     

采用TMAH 腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度 与腐蚀速率的研究与分析

TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。     

硅压力传感器的非线性分析及优化设

分析了硅压力传感器的线性与非线性，讨论了非线性产生的原因，并提出了硅压力传感器的优化设计方法。