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1.
基于光刻工艺的高分辨全彩QLED器件制备与性能优化
高宏锦
井继鹏
李福山
胡海龙
《光电子技术》
2022,(3):176-180
采用基于光酸反应的光刻工艺,获得均匀的红、绿、蓝三基色量子点薄膜作为发光层,成功制备出高分辨全彩QLED器件(子像素宽度5μm)。通过对光刻量子点表面进行配体钝化,并引入电荷阻挡层以降低非发光区的漏电流,明显提升了全彩QLED的器件性能,所制备器件的最大亮度为23 831 cd/m
2
,外量子效率为3.78%。
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