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1.
详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.  相似文献   
2.
介绍了实现微流体的精确定量和快速混合的基本方法,设计并制作了采用基于PDMS通道的微流体器件.  相似文献   
3.
付世 《印刷杂志》2010,(11):88-89
10月23,富士施乐最新推出的彩色数字印刷系统Color 1000 Press正式落户北京金木堂数码快印中心。这是富士施乐在中国北方区装机的首台Color 1000 Press。  相似文献   
4.
设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS( micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数( klevel和kvertic)的影响规律.文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径,具有工程实际应用价值,特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据.  相似文献   
5.
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加.  相似文献   
6.
铅电解精炼产生的阳极泥经分银炉精炼后产出的碲渣中,碲含量较高.目前这部分碲渣作为返料返回还原炉熔炼,不仅影响金银的回收率,而且使碲无法回收.采用球磨浸出—净化—中和沉碲—煅烧—碱液浸出—电解的工艺回收碲,金属碲的回收率可达到80%,并且此流程简单,环境污染小.  相似文献   
7.
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31∶1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.  相似文献   
8.
新型复合结构电热微驱动器的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。  相似文献   
9.
从碲渣中回收碲的工艺研究   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
铅电解精炼产生的阳极泥经分银炉精炼后产出的碲渣中,碲含量较高.目前这部分碲渣作为返料返回还原炉熔炼,不仅影响金银的回收率,而且使碲无法回收.采用球磨浸出-净化-中和沉碲-煅烧-碱液浸出-电解的工艺回收碲,金属碲的回收率可达到80%,并且此流程简单,环境污染小.  相似文献   
10.
方东明  付世  周勇  赵小林 《半导体学报》2007,28(9):1454-1458
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31∶1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.  相似文献   
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