燃气彩偏窑的温度控制与安全保护

燃气彩偏窑是以气体燃料作为能源,通过对燃烧过程的自动控制,达到温度精确控制,满足彩偏磁芯烧结工艺要求。同时,对燃烧过程中的熄火、燃烧气体和助燃空气压力超过正常范围、排烟不畅等进行有效控制,保证安全生产。     

SiC外延炉模块化集成制造技术探索与研究

SiC外延炉是半导体行业中的一项重要设备,其主要作用是在衬底上生长出高品质、大面积、无杂质的SiC外延薄膜。简要介绍了SiC外延炉模块化集成制造技术,并通过实施模块化集成制造技术方案,解决了设备生产周期长的问题,有效地降低了制造成本。     

锂离子动力电池材料磷酸铁锂制备设备的研究

介绍了一种新型锂离子动力电池材料——磷酸铁锂的大规模连续式制备设备。着重阐述了该设备的关键技术、工艺原理、中试效果及发展趋势等。     

腐蚀气氛下高温气氛保护窑加热元件的选用与分析

加热元件的选取要遵“环境～体系”原则,综合考虑窑炉各温区温度、气氛及腐蚀介质对加热元件的影响,选出最适应各个温度区、气氛场及腐蚀介质的加热元件,以保证高温气氛窑正常运行,使加热元件有良好的使用寿命和最低的经济支出。本文对某高温气氛保护窑不同温区的加热元件的选取,并对不同温区加热元件损毁机理进行分析。     

半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究

国产半导体装备在国家政策及国内市场的双重推动下迎来了新发展机遇，未来设备交货能力将成为半导体工艺设备厂商竞争的重点，为进一步提高设备出货及市场交货能力，加强企业竞争力，通过脉动生产线技术应用，使得国产半导体装备工程化批产能力建设进一步得到加强，目前该生产线年产能180台套装备，其中200 mm(8英寸)立式炉、150 mm(6英寸)SiC外延设备等半导体装备已实现研转批工程化批产生产。该技术在半导体设备制造过程中具有重要的应用价值，可以有效提高生产效率和产品质量。然而，目前该技术在实际应用中还存在一些问题，需要进一步研究和改进。希望本文的研究成果对相关领域的研究者和实践者有所启示和借鉴。