曝光数据流优化问题的蒙特卡罗算法

集成工艺中控制图形发生器产生掩模图形的数据流文件的数据排列顺序优化,是一个其结点数可达数千个之多的大规模旅行商问题(从镜头架的位置,即每个矩形的矩心为结点),常规算法早已不适用。本文采用多阶段蒙特卡罗算法并加以改进,补充了“分层优化模式”,邻接结点的预合并和在各个阶段末提取共同子路径并删去相关结点等一系列逐步缩小问题规模的措施,形成了一个实用的优化算法。相应的软件已成功地应用于薄膜磁头的数据流文件的优化。