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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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高分散度Pt/C电催化剂的制备 总被引:3,自引:1,他引:2
Cabot公司Vulcan XC-72型炭黑,经过H2O2氧化处理后作为Pt的载体,H2PtCl6作为金属前驱体制备了高度分散的Pt/C催化剂。讨论了不同条件下H2PtCl6在炭黑上的吸附性能。载体经过H2O2氧化处理24h,H2PtCl6在pH=9下吸收48h,H2 350℃还原2h,可以制备出铂晶粒平均大小为1.8nm的Pt/C电催化剂。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献