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1.
本文报道了ESi_x在SF_6-Ar、SF_6-N_2混合气中的反应离子刻蚀(RIE)的实验结果。研究了在SF_6-N_2的混合气中刻蚀WSi_x时,气体成分、气体流量、工作气压和输入功率对刻蚀速率的影响。发现在SF_6/N_2中刻蚀WSi_x微米结构具有优越性。实验结果的重复性较好,并在高速场效应器件、光电集成器件(微米结构)制作中得到应用。  相似文献   
2.
Co链状结构的制备及其表征   总被引:1,自引:0,他引:1  
以氯化钴,水合肼为起始原料,乙二醇为溶剂,采用溶剂热法制得链状结构的金属钴亚微米粒子。通过X射线衍射分析标定了获得样品的物相为六角堆积(hcp)结构,用透射及扫描电镜观察了样品的形貌,颗粒具有链状结构,长达数微米,构成长链结构的亚微米粒子为球形,粒径约为800hm左右。用振动样品磁强计表征了样品的静磁性能,测得的饱和磁化强度为163.76emu/g,矫顽力为104.20×79.6A/m。同时简要探论了链状结构的钴亚微米粒子形成机理,初步认为其形成过程是一个络合-还原-成核-组装的过程。  相似文献   
3.
本文分析了纤维从弹性基体中的脱粘与拔出,得到纤维初始脱粘应力。完全脱粘应力和纤维拔出应力与嵌入纤维长度的非线性函数关系,该理论经钢丝一环氧拔出试验验证,结果表明,当嵌入纤维长度较大时纤维初始脱粘应力趋向于一常数;完全脱粘应力随嵌入纤维长度的增加而增加,最后达到一个稳定状态:纤维拔出应力随嵌入纤维长度非线性地增加。  相似文献   
4.
本文对受一平行于纤维轴向外加载荷的单纤维复合材料给出了弹性应力的剪套解,得到基体内轴向应力沿径向的分布,以及纤维轴向应力和界面剪切应力沿纤维长度上的分布,并讨论了纤维/基体弹性模量比对最大纤维轴向应力和最大界面剪切应力的影响,而且,还将该工作与前人的工作进行了比较,最后,该文还给出了多纤维复合材料的弹性应力解.  相似文献   
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