通过LCD洁净间气流改善提升良品率

在传统的洁净间气流管理管控的基础上,着重介绍了TFT LCD制造业用洁净室系统的特性,以及在TFT LCD制造行业普遍出现的重要异常气流问题,提供了针对性的有效气流改善实施方案,并确认了气流改善,产品良率改善的效果,提出了未来TFT LCD洁净间气流改善的主要发展方向。     

基于气流场变化的洁净室内部洁净度研究

通过室内的粉尘浓度，即重视清净度的LCD制造工厂为研究场所，使用垂直层流方式的产业用洁净室（I．C．R：Industrial Clean Room）内进行现场实测与数据分析，得出结论：第一，证明现有的现场条件与洁净室的环境数据分析结果相同；第二，找出给气流变化重大影响的因素，掌握它们的特性；第三，为保持最适用的洁净室，对气流变化的预测提供基础资料。     

TFT-LCD生产设备洁净度提升研究

洁净室设备内环境是产品最近的环境,设备内洁净度直接影响产品品质,随着现在科学技术的高速发展,对生产设备内部环境洁净度要求越来越高.通过薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD)生产线设备内环境洁净度的提升,得到了非常重要的一线数据,积累了很多经验.粒子(Particle)是洁净间产品品质最大的敌人,设备内环境就是产品的环境,设备内环境洁净度的改善和控制是非常重要和必要的.     

新型全新风"免疫"空调系统的初步研究

提出了一种新型的,基于高效换热和间接蒸发冷却的全新风免疫空调系统,从理论和热力计算等方面对全新风系统和回风系统做了比较。初步研究结果表明,该新型全新风系统不但可以从根本上改善室内空气品质,而且其能量消耗水平与现有回风空调系统相接近,具有良好的研究开发前景。     

洁净空调室的现场实测、调整技术及性能研究

以生产LCD的垂直层流型工业用洁净厂房为研究对象,采用现场实测的方法,对洁净室内不同洁净度的两区域的气流分布进行了测量,分析了对气流造成影响的因素并提出了改善方案。研究结果表明给偏流造成影响的主要因素有:位置以及地板风口的配置方式、栅格地板的开口率、下部空间的动力设备的干涉等,此外,隔断的设置位置和室内长度、下部空间的深度等也会给气流变化造成影响。     

浅谈洁净室管理

介绍在全球最大LCD模块制造厂家,国外先进的企业管理环境下的洁净室的管理方法和经验,希望能够帮助民族企业提升在高科技行业（电子、生物技术、信息产业等）中的竞争力。