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本文发现在用光退火制备多晶硅薄膜过程中退火温度、时间等与多晶硅薄膜晶粒大小等晶化性质符合量子态模型。并对其物理思想进行了分析。 相似文献
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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析 总被引:3,自引:0,他引:3
论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法. 相似文献
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提出利用电磁波在两种单负材料和空气组成的三明治结构中的共振遂穿效应可以有效提高非辐射无线能量传输的距离与效率.理论计算显示,通过调节美特材料电磁参数,遂穿现象能够在数百倍器件厚度的尺度上发生,有效突破了中距离的限制.为了验证数值仿真结果,制备并测试了工作在微波波段的电单负(金属线结构)-空气-磁单负(金属蘑菇状结构)电磁遂穿结构.实验结果表明,基于美特材料三明治结构中共振遂穿效应的无线传能技术,能量传输的距离及效率和之前提出的方案相比均有明显提升.以上这些特性有助于推动非辐射无线能量传输技术在日常环境中的实际应用,同时有利于将美特材料应用于非辐射无线能量传输的理论研究. 相似文献
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首先对由两种单负超材料组成的异质结的传输特性进行了研究,发现该异质结具有谐振腔功能和亚波长特性。然后对该亚波长谐振腔品质因数的增强进行了研究,发现当在由两种单负超材料组成的异质结界面处引入类电磁感应透明超材料原胞时,谐振腔的品质因数得到大幅增强,从而获得了一种具有高品质因数特点的亚波长谐振腔。该谐振腔将有助于微波及更高频段元器件的小型化。 相似文献
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快速光热退火法制备多晶硅薄膜的研究 总被引:5,自引:1,他引:4
为了制备应用于太阳电池的优质多晶硅薄膜,研究了非晶硅薄膜的快速光热退火技术。先利用 PECVD 设备沉积非晶硅薄膜,然后放入快速光热退火炉中进行退火。退火前后的薄膜利用 X 射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试其晶体结构及表面形貌,用电导率设备测试其暗电导率。研究表明退火温度、退火时间对非晶硅薄膜的晶化都有很大的影响,光热退火前先用常规高温炉预热有助于增大多晶硅薄膜的晶粒尺寸和暗电导率。 相似文献
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