ASML公司光学光刻技术最新进展

荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一，通过不断的技术创新，在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上，详细分析了ASML公司在光学光刻技术方面的最新技术进展。     

激光共聚焦生物芯片扫描仪XY扫描台控制系统设计

介绍了生物芯片、激光共聚焦生物芯片扫描仪的概念以及高精度快速扫描台的意义,主要介绍对扫描台的运动进行闭环控制的原理和以DSP作为处理器实现这一控制系统的软硬件设计结果。     

生物芯片扫描仪高速扫描台研究

随着生物工程技术的不断发展,生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况,着重阐述了国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台,主要包括扫描台的结构、扫描原理、技术要求和如何实现这些要求以及扫描台控制的实现问题等。最后简要介绍了目前国内生物芯片检测仪的研究进展情况。     

激光共聚焦生物芯片扫描仪扫描台位置反馈信号的变换

文章介绍了激光共聚焦生物芯片扫描仪中高速扫描台二维扫描控制系统位置反馈信号 ,重点分析研究了光栅传感器输出的模拟位移信号的变换和处理。     

MCS-48单片微处理机系列及在步进电机实时控制中的应用

一、MCS-48单片微处理机系列MCS-48单片微处理机系列,采用与一般微处理机控制结构不同的方法,把存储器分为两部分,专门存放程序的ROM或EPROM程序存储器和专门存放运算中间数据的RAM数据存储器,这种有别于其他直接控制程序存储器的方法,提高了指令操作速度,缩短了控制流程。     

CPLD在精密激光定位系统中的应用

阐述了双频干涉仪的定位原理 ,以及在应用 CPLD设计、制作其功能电路时遇到的问题和解决方案。     

CCD生物芯片检测仪设计

生物芯片（基因芯片和蛋白芯片）是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段。本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并着重对系统设计、荧光图象的处理和检测结果的分析软件进行了讨论。     

亚微米接触式X射线曝光对准系统

介绍了接触式X射线曝光对准系统的设计原理,对其关键部分（精密调整台、微位移控制、对准光学系统等）做了详细阐述,并进行了系统的精度分析。     

21世纪微电子光刻技术

介绍了248nm,193nm,157nm准分子激光投影光刻的发展过程和下一代光刻技术（NGL）的实用化前景。     

图像处理在高精度对准系统中的应用

阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。