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装有非轴对称电子枪的显象管的电子束模拟器已开发出来,该模拟器已考虑到了电荷效应,电子热扩散和偏转散焦效应,模拟器中,电子束被分成各个高斯束流,每个高斯束流都具有主轨道和旁轴轨道。为计算主透镜的静电场,对于复杂的电极需采用极场展开法与表面电荷法相结合的办法来减少CPU时间,简化数据输入,动态象散校正依靠主透镜上旋转一四极透镜的方法来完成,象散的消除采用电子束形成区域用狭缝和方孔的方法来完成,这些都已 相似文献
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