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使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k~2),且讨论了ZnO薄膜厚度h_(ZnO)和AlN薄膜厚度h_(AlN)对这些参数的影响。结果表明,当h_(ZnO)=1μm,h_(AlN)=1.88μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9 208 m/s,k~( 2)=3.84%,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中。 相似文献
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