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1.
微透镜阵列用于线列红外探测器的研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列,用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜,用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件,用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器。  相似文献   
2.
线列熔融石英微透镜阵列的光刻和氩离子束刻蚀制备   总被引:5,自引:1,他引:5  
采用光刻和熔融成形法制备线列长方形供面光致抗蚀剂微透镜图形,采用固化技术对其作重整化处理,采用氩离子(Ar+)束刻蚀有效地实现线列长方形拱面光致抗蚀剂微透镜图形阵列向熔融石英(SiO2)基片上转移。所制单元熔融石英微透镜底部的外形尺寸为300×95μm2,平均冠高14.3μm,平均曲率半径为86μm,平均焦距为258.1μm平均F/数2.7,平均大T/数2.9;平均光焦度5.8×10(-3)折光度。扫描电子显微镜(SEM)和表面探针测试表明,所制成的线列熔融石英微透镜阵列的图形整齐均匀,每个单元长方形拱面熔融石英微透镜的轮廓清晰,表面光滑平整。实验结果证实,光刻/氩离子束刻蚀技术适用于制备具有良好的均匀性和光学质量的单片熔融石英微透镜阵列器件,此技术对于制备与大面阵凝视焦平面成像探测器相匹配的大面降微透镜阵列具有重要意义。  相似文献   
3.
提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到3861.70μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过200μm的相同尺寸的微透镜阵列.微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性.  相似文献   
4.
提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到3861.70um,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过200um的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性。  相似文献   
5.
微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
利用扫描电子显微镜(SEM)和表面探针测试,分析了采用离子束溅射刻蚀技术制作的石英微透镜阵列器件的表面微观形貌,讨论了引起微透镜表面缺陷的原因及所采取的改善表面形貌的措施,研究了采用不同层次的光致抗蚀剂微透镜图形的固化技术后,经离子束溅射刻蚀制作出的微透镜阵列器件的表面形貌差异,定性给出了表面探针测试的适用范围,此外还介绍了对所制样品所做的几项主要的处理操作。  相似文献   
6.
本文侧重讨论了用于相参脉冲测量雷达的、以修正DFT为基础的信号处理方法。在雷达低采样率工作下以及在目标高速、高加速度运动条件下,这种方法不仅可以精确地跟踪目标的径向速度,同时还可精确地直接跟踪目标的径向加速度,从而可以构成全数字二维复合跟踪系统。  相似文献   
7.
8.
提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到 3 861.70 μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过 2 0 0μm的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合 ,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性  相似文献   
9.
线列混合型石英微透镜/红外探测器阵列的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
阐述了利用离子束刻蚀技术制作线列长方状拱面石英微透镜阵列的工艺方法,对所制微光学元件的光学性能进行了测试和讨论,所制成的石英微透镜阵列器件在线列YBa2Cu3O7-δ高Tc超导薄膜红外探测器上得到了应用。实验结果表明,混合型的石英微透镜/红外探测器结构显著改善了线列YBCO高温超导薄膜红外探测器的光响应特性。  相似文献   
10.
李智勇  刘鲁勤 《电子学报》1994,22(5):98-101
本文介绍了一种对缓慢运动(>0.1象素/帧)的斑主点目标质心进行高精度跟踪的方法,该法通过对图象序列中目标质心位置和帧间位移测量误差的分析,提出了改进的滤波模型,有效抑制了图像空间量化噪声和灰度噪声的影响,获得了高精度的斑点目标运动参数。  相似文献   
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