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1.
研究了用工业IC技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理,并建立了数学模型.对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算,理论曲线与实验结果符合得很好.最后,给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法.  相似文献   
2.
真空微电子平板显示器工艺研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
皇甫鲁江  单建安 《电子学报》1996,24(11):119-121
本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺,主要包括阳极支柱的制作和平板透明真空封装。  相似文献   
3.
本文报告一种叫做自保护MOS栅晶闸管的新器件.这种器件无寄生闩锁效应,并在较高阳极电压下展现出电流下降而不是饱和或上升的特性.因此,这种新器件具有令人满意的正偏安全工作区.器件的保护点由用户外接输入电阻自行调节,极大增加了使用的灵活性.此外,器件保护点电流和电压的温度系数均为负,这种特性使器件在高温工作时可更好地起自保护作用.  相似文献   
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