排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
研究了用工业IC技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理,并建立了数学模型.对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算,理论曲线与实验结果符合得很好.最后,给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法. 相似文献
2.
真空微电子平板显示器工艺研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺,主要包括阳极支柱的制作和平板透明真空封装。 相似文献
3.
1