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研究了离子能量在薄膜制备过程中对TiO2和SiO2薄膜应力的影响。用电子束蒸发的方法制备TiO2和SiO2薄膜,使用实验室自行设计制作的基于哈特曼传感器的薄膜应力仪在线监测TiO2和SiO2薄膜应力随膜厚的变化。结果表明,离子辅助沉积的TiO2薄膜张应力值要比传统工艺低40 MPa,并且随着离子能量的增加,薄膜逐渐由张应力变为压应力,薄膜的最大折射率为2.56;而离子辅助的溅射效应在制备SiO2薄膜时比较明显,传统工艺制备的SiO2薄膜表现为压应力,而用离子辅助的方法制备的SiO2薄膜表现为张应力,并且随着离子能量的增加,薄膜变得疏松,折射率逐渐降低。 相似文献
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采用丝网印刷技术,在Al2O3陶瓷基板上印刷、高温烧结内电极及绝缘层,制备出陶瓷厚膜基板,进而制备了新型厚膜电致发光显示器(TDEL).整个器件结构为陶瓷基板/内电极/厚膜绝缘层/发光层/薄膜绝缘层/ITO透明电极.研究不同基板沉积温度对发光层性能的影响,并对器件的亮度-电压、亮度-频率进行测量.结果显示较高的ZnS:Mn沉积温度明显提高了无机发光器件的发光亮度.其原因主要是由于高的沉积温度提高了ZnS:Mn的成膜质量,提高膜层微晶尺寸大小,从而发光亮度提高.但是我们发现温度继续提高的同时,器件发光亮度趋于饱和,分析原因是由于掺杂Mn浓度过高,影响了发光效果. 相似文献
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介绍了一种基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统.哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域,通过测量每个小区域成像光斑的相对位置变化来获得整个测量表面的变形量,将测得的变形量代入到薄膜应力与基板表面变形的关系式中,求得薄膜应力.通过对影响光斑质心探测精度的各种因素进行分析,提出使用加阈值的一阶矩法,精确计算光斑质心,结合高灵敏度的CMOS探测器,使系统的面形测量精度达到15.7 nm,应力测量灵敏度优于3.3 MPa,实现了薄膜应力测量的高灵敏度与在线测量的统一.最后通过对TiO2,SiO2单层膜的在线测量,验证了系统的灵敏度与稳定性,能够完全满足薄膜应力分析的需要. 相似文献
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钢筋混凝土的质量控制是建筑工程质量管理的重中之重。文章分析了钢筋混凝土出现质量问题的主要原因,探讨了控制好钢筋混凝土质量的要点。 相似文献
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解决中天钢铁高炉炉壳上涨实践 总被引:1,自引:0,他引:1
高炉炉壳上涨是近几年钢铁企业部分高炉面临的一个难题,控制高炉炉壳上涨对高炉的长寿、安全稳定运行有重要意义。针对中天高炉炉壳上涨问题,以压力容器盲板力的计算为依据,结合长期分析和治理实践,明确了高炉炉壳上涨的关键原因是由炉内压力产生的盲板力所导致;并给出了高炉炉壳上涨的5个具体步骤,炉底板变形,炉内耐材变形,耐材之间出现缝隙,有害金属沿着缝隙富集,炉壳逐步长高。在此基础上,针对性地研发了双炉底板结构,并在中天钢铁的多座高炉上进行了成功应用,解决了高炉炉壳上涨的难题。将探索高炉炉壳上涨原因的焦点从原料、操作、施工和耐材材质等方面转向高炉炉底板自身强度上。 相似文献
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本文首先从近代薄膜光学理论和最优化方法出发。得出若干多层增透膜设计结论,在此基础上,讨论了具有变折射率膜层的增透膜性能,研究了变折射率薄膜的单色光效应、计算方法、折射率剖面的分布对增透膜光谱性能的影响,以及变折射率的光谱效应的补偿和利用等。文章设计和制备了一种在可见光区近乎无色的低反增透膜,提出了积分控制等新工艺。 相似文献