Si~＋、As~＋双离子注入半绝缘GaAs的研究

本文采用Ｓｉ＋和Ｓｉ＋、Ａｓ＋单、双离子多重注入半绝缘砷化镓［ＨＢ－ＳＩＧａＡｓ（Ｃｒ）］．研究发现，双离子注入层经无包封快速热退火后，激活率和电子迁移率较单Ｓｉ＋注入样品明显提高．Ｒａｍａｎ谱显示结构完整性好，并且有好的载流子剖面分布．文中从化学计量比角度出发分析了激活率提高的原因和从注入离子增强扩散系数分布来解释了多重Ｓｉ＋、Ａｓ＋双注入的载流子浓度剖面分布．     

用离子注入技术研究轴承钢对铍青铜的磨损性能的影响

用三种能量的 N~+离子重叠注入和用N~+离子反冲注入两种方式研究了注入对轴承钢—铍青铜磨损性能的影响。磨损试验是用未注入的Q Be Z 铍青铜针在注入的 G Crlo 轴承钢样片上滑动。反冲注入的钢片上镀有 Cr 膜,这种注入方式使摩擦付双方的耐磨性能都得到了明显改善。重叠注入对铍青铜的耐磨性改善明显,而轴承钢是否改善有待探论。注入减少了粘着磨损。在注入层内观察到的氮化物、Cr_2O_3及表面 C 污染形成的石墨态对改性都可能有利。     

膜厚对反冲注八改性的影响

本文依据LSS理论并考虑到反冲注入的特点,对反冲注入中入射离子的能量和镀层厚度提出如下选择原则: 1.入射离子的能量应对应于(dε/dρ)。～ε~1/~2普适曲线的极大值。2.镀层厚度应与入射离子在镀层中的投影射程大体一致。实验结巢(如表面硬度的测试,磨损试验,俄歇深度剖析)证明,上述选择原则是合理的。     

氮离子注入改善纯铁耐腐蚀性的机理研究

本文对N~+离子注入到纯铁中的阳极极化特性进行了实验研究,并进行了表面X射线衍射分析及俄歇剖面分析,从这些分析得出由注入而造成的氮化物是影响纯铁腐蚀性能改善的重要因素之一。本文从氮化物的结合能出发解释N~+注入纯铁对其腐蚀性能的改善作用。