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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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我们整个的项目是围绕着倡节能,促环保进行的,将节能环保与现代技术相连接。拯救地球、保护环境、节约能源,是我们共同的责任。该平台可以清楚的看见个人或集体使用水电量的多少与变化,还可以通过记录将个人的使用与官方平均数据相比较,从而根据此来设置一些等级和奖励,来激励学生时刻节约资源的行动。我们进行了生态学,物理学,心理学等方面的了解和探究,但在网络平台搭建的过程中遇到了很棘手的问题,在IC卡的制作方面我们的能力和条件还不足以满足IC卡的制作,经过探讨我们转换思路使问题得到了比较好的解决。最后我们进行了项目的宣传工作,该项目取得了阶段性的良好进展。 相似文献
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东峰煤矿原回采工作面采用"一进一回"通风方式,上隅角瓦斯管理问题严重制约着工作面的安全生产,为做好上隅角瓦斯管理工作,提高巷道掘进效率和煤炭资源采出率,根据《山西省煤矿现代化矿井标准》第4条要求,该矿3G02工作面采用了沿空留巷无煤柱开采技术,不但解决了上隅角瓦斯管理问题,还促进了矿井安全、高效生产。 相似文献
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随着社会的进一步发展,现代社会对新型人才的需求改变了传统教育教学模式的发展,以研究性学习与旅行体验相结合的非传统教育场所成为学生课外学习的重要组成部分,与之对应的研学营地也有了极大的市场需求。结合日照1971研学营地改造项目,从历史背景、人文环境、建筑艺术等方面,探讨了废旧校舍的改造和非传统校园公共空间的设计问题。 相似文献