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电工技术
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无线电
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1994年
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1993年
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1
1.
晶闸管挖槽法制造工艺
陈福元
吴忠龙
《半导体技术》
1993,(2):9-11
介绍一种挖槽法制造晶闸管新工艺,它具有简化制作工序、提高器件芯片成品率的特点,适合批量生产.
相似文献
2.
静电屏蔽晶体管GAT的特点与制造
陈福元
吴忠龙
《电力电子技术》
1994,28(4):52-55
介绍静电屏蔽晶体管的结构,器件性能及制造工艺。利用GAT的基区静电屏蔽效应改善了晶体管的工作可靠性。研制成的GAT器件呈现出高耐压,快速开关和低饱和压降等优良特点。
相似文献
3.
腐蚀挖槽和P,N型杂质一步掺杂制造晶闸管
陈福元
吴忠龙
《微细加工技术》
1993,(4):63-66
本文介绍了腐蚀挖槽和硅中P、N型杂质一步扩散掺杂的晶闸管制造工艺,应用该技术提高了产品的性能/价格比。
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