用C—V法测试Cd在InSb中扩散层的杂质浓度及其分布

在光伏型红外探测器的生产中,扩散层的杂质浓度及其分布是十分重要的。及时了解杂质浓度及其分布,将有助于获得最佳性能的器件。本文研究了 C-V 法测试 Cd 在 InSb 中扩散层的杂质浓度及其分布,为浅结杂质分布的确定提供了一个新的方法。     

石英管真空热处理工艺

讨论了光伏型红外探测器生产过程中石英管的真空热处理工艺。通过对一些工艺参数的试验和比较,获得了对石英管较为适用的真空热处理工艺参数。     

光伏型锑化铟红外探测器量子效率的分析

通过推导,求解光照情况下ｐ＾＋－ｎ结的电流连续性方程,得出ｐ＾＋区和ｎ区量子效率的表达式,并考虑了ｐ＾＋－ｎ结耗尽区对器件量子效率的影响,分析了不同的ＩｎＳｂ材料参数及工艺参数对Ｃｄ＾＋扩散光伏型ＩｎＳｂ器件量子效率的影响。     

砷注入硅中高温瞬态热退火研究

本文采用阳极氧化法剥层技术和扩展电阻法研究了砷离子注入硅中的高温瞬态热退火行为;测定了退火后杂质分布结深和杂质激活率,并与理论结果进行了比较。结果表明:120keV 砷注入5×10~(15)cm~(-2),经1180℃3分钟退火后,杂质激活率和再分布情况都比较理想。本研究首次采用扩散炉进行高温热退火。     

光伏型锑化铟红外探测器零偏结阻抗结面积乘积的分析

通过推导、求解光照情况下ｐ－ｎ结的电流连续性方程，提出由扩散电流机制决定的零偏结吉面积乘积，并考虑了耗尽区Ｇ－Ｒ电流、隧道电流机制对Ｒ０Ａ乘积的影响，分析了不同的ＩｎＳｂ材料参数及工艺参数对Ｃｄ＾＋扩散光伏型ＩｎＳｂ器件Ｒ０Ａ乘积的影响，最后将分析民实际结果进行了比较，对提高ＩｎＳｂ光伏器件的性能有一定的理论指导意义。     

红外探测器生产中的超高真空系统

讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。