酸增殖源及其在化学增幅抗蚀剂体系中的应用

介绍了酸增殖机理、酸增殖源的种类、典型化合物在化学增幅抗蚀剂体系中的应用及对灵敏度的提高 ,提出在计算机直接制版版材研究中的应用     

酸增殖剂的合成及其对CTP版材性能的影响

针对自制激光热交联型CTP版材存在的问题,合成了一种磺酸酯类化合物,用其作为酸增值剂,使得版材的灵敏度与成像质量明显提高。     

热敏型计算机直接制版版材

主要介绍各种热敏版材的机制,及其我们实验室对阴图热交联版材的研究工作。     

热敏型计算机直接制版版材

主要介绍各种热敏版材的机制,及其我们实验室对阴图热交联版材的研究工作。     

色散对液晶菲涅耳透镜衍射效率的影响研究

首先研究了液晶菲涅耳透镜和传统菲涅耳透镜的区别,并给出液晶菲涅耳透镜衍射效率的计算公式。接着,研究了液晶材料的色散和入射波长偏离量化波长对衍射效率的影响。经过计算分析并通过相应的实验发现,当量化波长为470nm时,在400nm和700nm处衍射效率分别下降了9.0%和27.5%,说明波长偏离对液晶菲涅耳透镜的衍射效率影响较大;当量化波长为510nm时,波长偏离在400nm和700nm处产生的衍射效率下降大致相当,约为20.0%;当在400nm和700nm处液晶的折射率变化量Δn基本相等时,液晶色散造成的衍射效率降低都约为8.0%。结果表明,和波长偏离相比,液晶色散对衍射效率的影响相对较小,且液晶菲涅耳透镜的量化波长应在470～510nm区间选取。实验测量了色散对液晶菲聂耳透镜衍射效率的影响,测量结果和理论计算结果非常接近,说明分析结论有效。     

太赫兹波段可调窄带滤波器

提出了一种基于FDTD模拟的亚波长阵列结构的太赫兹波段可调窄带滤波器,其结构尺寸由16μm至160μm可调,因此可以实现滤波频率在2.5THz～20THz大范围内的调节,最小带宽达到0.04THz,实现了非常好的窄带滤波效应.此外,这种人工复合结构还可以通过改变其与太赫兹偏振夹角的方式改变太赫兹波偏振态,同时实现窄带滤...     

激光热交联型计算机直接制版版材

介绍了热交联版材的结构和成像机理以及我们实验室在该版材研制上的工作和实验 结果。     

温度对太赫兹亚波长金属结构共振特性的影响

利用太赫兹时域光谱系统研究温度对GaAs基底上生长的太赫兹亚波长金属结构的透过率及共振特性的影响。实验发现,温度从低温80 K升高至380 K,样品的透过率逐渐降低,且低频共振频率处有轻微的红移现象。通过研究共振带区域及远离共振带区域的透过率情况,分析了总体透过率降低的根本原因在于温度升高导致GaAs基底的本征载流子浓度升高;共振凹陷减弱是由于基底载流子的变化致使透过率升高形成的;红移现象的产生是由于温度升高导致样品折射率增大。此外,该研究可以为太赫兹范围的功能器件在实际应用和生产制造中提供有意义的参考。     

酸增殖剂及其应用

基于自催化酸解反应的酸增殖是新的提高成像灵敏度的方法。目前发现有实用价值的酸增殖剂绝大多数为磺酸酯类化合物。本文详细介绍了酸增殖机理和酸增殖剂的种类,比较了2-甲基-2-(对甲苯磺酰氧甲基)-3-酮-丁酸叔丁酯、环己二醇二甲苯磺酸酯、三聚羟基丙醛三对甲苯磺酸酯在化学增幅抗蚀剂体系中的应用性能,认为环己二醇二碳酸酯的灵敏度高,更具有实用价值。     

爆炸物及相关混合材料的太赫兹波谱

对单质环三亚甲基三硝胺（RDX）、环四亚甲基四硝基胺（HMX）、钝感RDX炸药以及多种以单质炸药为主体成分的混合炸药进行了太赫兹谱的试验测量和理论分析。利用太赫兹时域光谱技术（THz-TDS）,给出了炸药样品在0．2～2．5THz范围内的折射率和吸收系数。结果发现,单质炸药RDX、钝感RDX与六种以RDX为主要成分的混合炸药具有相同的特征吸收峰;单质炸药HMX与混合炸药8702具有相同的特征吸收峰。试验结果表明,利用THz-TDS技术可以对单质炸药以及以其为主体成分的混合炸药进行检测和鉴别。