基于纯相位液晶空间光调制器的共焦三维扫描方法研究

针对传统的机械式共焦扫描方法由于受机械 特性或驱动技术的限制难以满足材料内部物理过程检测、缓慢化学反应可视化和活体 细胞成像等应用领域的需求,深入研究了基于纯相位液晶空间光调制器(LCSLM)的聚焦光斑 三维位置控制技术,利用LCSLM对入射光进行相位与振幅的同时调制,设计了无机械运动部 件 的三维共焦扫描系统,实现了显微物镜聚焦光斑的 三维扫描。研究结果表明,利用LCSLM能够 实现最大横向偏转角度为0.021 rad,光束偏转的绝对误差 ｜θerror｜＜3．30×10－8 rad≈1．89× 10－6,且能够实现轴向[－55.6mm,55.6mm]的扫描范围。