LS-MOCVD的真空度测量及自动控制

对液态源金属有机物化学气相沉积(Liquid Source-Metal Organic Chemical Vapor Deposition,LS-MOCVD)设备.文中主要研究了LS-MOCVD的反应室真空获取和控制的方法.整个设备的操作控制由PLC和触摸屏协作完成,用冷阴极电离全量程规测量粗真空,用高精度薄膜规测量工艺过程中的真空,采用内置PID算法的智能蝶阀控制器构成高真空恒压测量控制回路,实现了LS-MOCVD反应室真空的自动测量控制,确保了工艺的稳定性.反应室真空测量范围为常压～8×10-3Pa,测量精度0.2%,分辨率为满量程的0.001 5%.解决了传统气态源MOCVD不同材料之间蒸汽压差大、难以控制及气态金属有机物难以获得的问题.     

基于超像素和光流引导的正射影像拼接方法

影像拼接是生成大规模数字正射影像的关键技术之一,但现有的影像拼接方法在进行多个影像拼接时存在拼接线穿过明显地物导致的鬼影现象。光流是观察者和场景间相对运动引起的影像边缘等的相对运动,其中,大光流对应影像间的变化区域,可用于检测正射影像间的明显地面区域。提出一种基于光流引导的新型影像拼接方法,通过超像素的密集光流提取影像中明显的地物信息,以避免接缝穿过明显的地面物体。采用由粗到细的接缝线优化策略,并在超像素级别上利用Dijkstra算法进行最佳拼接区域检测,从而提高接缝线检测的效率。在此基础上,结合归一化互相关成本函数在像素级别上进行拼接线的像素级优化,获得最优的接缝线。实验结果表明,该方法从主观视觉上能够生成高质量的接缝线,在保证拼接效率的情况下,SSIM质量评价指标较Dijkstra方法、图割方法以及商业软件OrthoVista得到明显提高。     

无线局域网MAC接入性能研究

主要研究无线局域网MAC接入性能,从IEEE 802.11协议、无线局域网接入性能两个方面对这个问题进行了研究,无线局域网灵活,安全性高,扩展方便的优势是有线网络不能比的,但是无线局域网MAC接入性能在复杂的网络运行环境下存在较大的波动,有必要对其进行深入研究。     

氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究

利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮氧化硅(SiOxNy)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪等表征技术,研究不同N2O与NH3流量比R条件下薄膜的组分、光学常数及红外吸收特性.研究结果表明:随着流量比R的增加,SiOxNy薄膜中O的相对百分含量提高,N含量降低,而Si含量基本不变;薄膜由于Si-...     

烟碱抑制单胺氧化酶B活性及其对抗帕金森病作用研究

[背景和目的]流行病学调查结果表明,吸烟与帕金森发病率呈负相关,但吸烟对抗帕金森病的机制仍不清楚.本文拟探讨烟碱对单胺氧化酶B (MAO-B)的抑制作用,明确对抗帕金森病的机制.[方法]通过小分子与蛋白对接模型模拟技术,分析烟碱和MAO-B相互作用及蛋白活性抑制率;对细胞及果蝇的帕金森病模型给予烟碱药物干预,利用分子生...     

加强长江河道管理有关问题的探讨

一 江阴市位于长江三角洲中部．35km长江干流越境而过。河道管理作为防洪保安的一项重要基础工作,历来得到各级水行政主管部门的高度重视。沿江开发战略的实施,更是凸现了河道管理的重要性。江阴市江港堤闸管理处按照《中华人民共和国水法》、《中华人民共和国河道管理条例》、《无锡市国管堤防规范化管理考核细则》、     

制丝关键工序对细支卷烟燃烧温度及主流烟气成分的影响

为探索制丝关键工序与细支卷烟品质的关系,分析了切丝宽度以及烘丝工艺对于细支卷烟燃烧温度、烟气成分以及感官质量的影响,并对主流烟气成分释放与细支卷烟燃烧温度的关系做了探讨。结果表明,KLD薄板烘丝较HXD气流烘丝的感官质量更好;此外,低切丝宽度会导致细支卷烟产品燃烧锥温度、焦油、以及危害性指数的上升,但同时也会增加烟气香味成分含量,提高卷烟香气量和满足感。      

MOCVD的气动控制回路设计

介绍了MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）液态源金属有机物化学气相沉积设备，研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路，实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性，确保了工艺的重复性和稳定性。     

非制冷红外焦平面阵列读出电路的BCB牺牲层接触平坦化(英文)

研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计微桥阵列与读出电路的集成。利用该方法成功将2μm的电路表面突起,平坦化为表面起伏56 nm的平面,可替代会给器件带来颗粒和损伤的化学机械抛光(CMP)技术。并在该平坦层上方成功进行了非晶硅敏感薄膜的沉积、微桥结构的图形化以及同时作为牺牲层的BCB的释放。通过实验研究了BCB膜层的厚度与转速、固化温度的关系,实验发现BCB的收缩率随温度小范围变化,约为30%。研究了BCB的等离子刻蚀特性,表明该材料适合用等离子刻蚀的方法进行接触孔的刻蚀和牺牲层释放。最后,利用BCB牺牲层接触平坦化技术成功地在读出电路(ROIC)芯片上制作了160×120面阵的非制冷红外焦平面阵列。     

“智能水务”促进江阴城乡供水安全保障的实践与体会

江阴以江南水务为主体,从建立应用系统模块、升级管理模式着手,积极实施"智能水务"项目建设,不仅促进了企业的创新发展,实现了企业的转型升级,还极大地提升了水务运营能力,有效促进了城乡供水安全保障。