TiO2薄膜的宽光谱特性椭偏法研究

为了获得TiO2薄膜的光学常数,采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃上的单层TiO2薄膜,得到了TiO2薄膜在300nm~2500nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度.根据TiO2的薄膜特性及成膜特点,考虑了表面粗糙层和界面层对薄膜性能的影响,建模时采用Cauchy指数模型和Tauc-Lorentz模型,对建立的各种模型测量得到的数据进行了分析和比较.结果表明,模型基底/Tauc-Lorentz模型/表面粗糙层可以得到最小的均方差为0.5544,得到的TiO2薄膜的厚度的测量值与TFCalc软件的计算值最接近.该研究结果对TiO2薄膜多层膜膜系设计和制备有参考价值.     

B2—FeAl合金基本性能及间隙缺陷的理论研究

本文基于EAM势,利用分子动力学方法研究B2-FeAl金属间化合物的基本物理性能及合金体相中含B原子缺陷的性质。研究结果表明:采用EAM势来研究FeAl合金是可靠的;对于点缺陷的形成,合金中B取代Al位的缺陷形成能最低,形成Al反位缺陷最容易,其次是Fe反位缺陷,最后是间隙缺陷。