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本文采用脉冲激光沉积(PLD)法,在单晶硅试样表面上沉积制备了TiN/AlN多层硬质薄膜;研究了激光能量、靶衬距离和基体温度等工艺参数对薄膜性能的影响。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和显微硬度仪方法研究了薄膜的性能。结果表明:薄膜由TiN和立方AlN细晶和无定型的非晶TiN、AlN组成,薄膜的调制周期尺寸均在λ=(50-200)nm范围内,多层结构界面清晰;当多层薄膜调制周期在100nm以下时,薄膜的显微硬度明显高于TiN和AlN的混合硬度值。 相似文献
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采用脉冲激光沉积(PLA)法,在单晶Si试样表面沉积制备了一系列TiN/AlN硬质多层膜,并采用基于免疫算法的免疫径向基函数(IRBF)神经网络对AlN厚度建立预测模型,设计出具有可控调制周期和调制比的TiN/AlN多层膜。X射线衍射(XRD)结果表明,小调制层周期下,过高或过低的工艺条件下薄膜通常为非晶态,适当的工艺条件下TiN、AlN形成具有强烈织构的超晶格柱状晶多层膜;与此相应,纳米多层膜产生了硬度和弹性模量异常增高;随着调制比增加,使纳米多层膜形成非晶AlN层和纳米晶TiN层的多层结构,多层膜的硬度和弹性模量逐渐下降。XPS结果表明,薄膜界面由Ti+4、Ti+3离子组成,N的负二价、三价亚谱结构预示着非当量TiN、AlN的形成。AFM研究显示,薄膜的调制周期均在10~200 nm范围内,且薄膜表面较均匀;当多层薄膜调制周期在50 nm以下时,薄膜的纳米硬度值明显高于TiN和AlN的混合硬度值,达30 Gpa。 相似文献
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介绍了一种Quinx DNC/MDC的信息管理系统,并结合该系统对某数控车间的关键问题提出了解决方法。通过对DNC/MDC系统信息的采集和管理,实现对生产状况的优化和监控,从而给公司带来了巨大的经济效益。 相似文献
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采用电子拉伸试验机、显微硬度计、洛氏硬度计、扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)等对不同固溶状态下Al-Zn-Mg-Cu-Cr超高强铝合金的硬度、力学性能及组织等进行了系统的研究.结果表明,随固溶温度的升高,合金的硬度和强度不断升高,在753 K时合金的综合性能最好,σb=577 MPa,σ0.2=521 MPa,δ=11.7%;但当温度高于758 K时,合金的硬度、强度急剧下降.组织观察表明,随固溶温度的升高,时效组织中的析出相数量不断增多,均匀程度也不断提高,密度也不断增大,颗粒也变得细小,但当温度达到763K时,在合金组织内部能观察到明显的过烧现象,组织中出现复熔组织.另外,随固溶温度的升高,合金的应力腐蚀敏感性先不断降低,然后又急剧上升.其中,753K时合金的应力腐蚀敏感性最低,只有17.36%,相对于713 K时的合金抗应力腐蚀性能提高了约51.2%. 相似文献
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唐普洪 《武汉理工大学学报(材料科学英文版)》2016,31(3):533-537
The application of rolling for fabricating grate on titanium stripe has been explored in this paper. Then the mechanically robust Ti(C,N) diffusion layer was synthetized directly on the grates by laser carbonitriding in the mixture gas of nitrogen and methane. The results shows that the carbonitriding process is accelerated by temperature enhancement with decreasing scanning speed. The Ti(C,N) diffusion layer is kept at 2 μm in thickness, when the scanning speed is smaller than 4 mm/s. The contact angle increases from 20° to 143.6° by designing an appropriate grate size and surface roughness. Meanwhile, the relationship between hydrophobicity, hardness performance and scanning speed is also discussed. The hardness of diffusion layer increases with decreasing laser scanning speed, and is up to 11.2 GPa. The surface structure and hydrophobic state are maintained after three cycles of sandpaper abrasion, which has improved the robustness of surface grate. 相似文献
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唐普洪 《上海电力学院学报》2010,(6)
采用脉冲激光沉积(PLA)法,在单晶Si试样表面沉积制备了一系列TiN/AlN硬质多层膜,并采用基于免疫算法的免疫径向基函数(IRBF)神经网络对AlN厚度建立预测模型,设计出具有可控调制周期和调制比的TiN/AlN多层膜。X射线衍射(XRD)结果表明,小调制层周期下,过高或过低的工艺条件下薄膜通常为非晶态,适当的工艺条件下TiN、AlN形成具有强烈织构的超晶格柱状晶多层膜;与此相应,纳米多层膜产生了硬度和弹性模量异常增高;随着调制比增加,使纳米多层膜形成非晶AlN层和纳米晶TiN层的多层结构,多层膜的硬度和弹性模量逐渐下降。XPS结果表明,薄膜界面由Ti+4、Ti+3离子组成,N的负二价、三价亚谱结构预示着非当量TiN、AlN的形成。AFM研究显示,薄膜的调制周期均在10~200 nm范围内,且薄膜表面较均匀;当多层薄膜调制周期在50 nm以下时,薄膜的纳米硬度值明显高于TiN和AlN的混合硬度值,达30 Gpa。 相似文献
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一、OMAT优控系统功能说明 虽然切削条件是随着切削过程变化而变化的,但数控机床的每步走刀都按程序编定的恒定进给量进行. 相似文献
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基于人工神经网络激光烧蚀制备PDPhSM基纳米复合薄膜聚合效率的预测 总被引:1,自引:0,他引:1
为有效缩短脉冲激光烧蚀制备有机硅聚合物聚二苯基硅亚甲基硅烷(PDPhSM)基纳米复合薄膜工艺中繁琐的实验过程,分别采用多层前馈(BP)神经网络和径向基函数(RBF)神经网络对PDPhSM基纳米复合薄膜的制备工艺与聚合效率之间的关系进行建模,并将其运用到聚合效率的预测中去,讨论了激光能量密度、环境压强、靶衬距离、沉积时间和聚合效率之间的关系。克服了以往单因素实验法不能正确反映制备工艺和聚合效率之间复杂的非线性关系的弱点。预测和验证结果均表明实验值和网络预测值之间相对误差都在10%以内,但径向基函数神经网络较多层前馈神经网络能够更精确、更可靠地逼近它们之间的非线性关系。该方法为有效、快捷、经济地开发研制PDPhSM基纳米复合薄膜提供了新的思路和有效手段。 相似文献
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采用PLD法沉积了TiN层,用显微硬度计、扫描电子显微镜、摩擦磨损试验机、电子拉伸试验机等现代分析测试手段对TiN层性能及断而组织进行了系统考察,用有限元法对TiN层与基体的应力分布进行了模拟分析.同时,还对TiN层在推力轴承推力瓦上的应用进行了初步试验.结果表明,PLD法沉积的TiN层与基体间呈冶金结合,结合强度大于70 MPa. 相似文献