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为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题,同时由于锗层很薄,对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小。测试表明,制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa,比纯类金刚石膜降低了39%,通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试;同时,其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平。该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜。 相似文献
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<正>在介绍微电网定义、分类和运行特点的基础上,基于国内外微电网的发展现状,系统深入地阐述了微电网的成本效益和运营模式。然后,结合电力体制改革中的热点问题,分析了新电改与微电网发展模式的相关性,并从电力企业的角度提出了相应的管理提升和应对策略。随着国家鼓励分布式电源建设政策的不断实施,越来越多的分布式电源将以微电网的形式接入到配电网中,而目前国内外对微电网的研究大 相似文献
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