DX-5型实验扫描电子显微镜

本文主要叙述我厂最近试制成的DX-5型扫描电镜的性能,电子光学设计方面的一些考虑。该仪器的二次电子象的分辨率为60A～70A,有较完善的视频信号处理系统,并可配两道X光分光光谱仪一个能谱仪和一个光学显微镜。该仪器是非对称物镜,用通常的对称透镜的计算参数加以修正得到正确的象差系数。物镜磁路用近似场的假设计算。扫描线圈的设计主要在大偏转范围内给出均匀场以减少低放大倍数下的畸变。为了有效的收集二次电子,在样品附近放置一个小电极加上15V～30V的电压。一个意外的噪音来源来之于电子枪附近的背反射电子通过真空管道达探测器。为了实现电子束的合轴,在电子束交叉点附近放置一个电磁对中线圈,加上瓷瓶的精确定位可以方便合轴。文章也叙述了在调试中排除了一些问题后达到60A的分辨率。     

改进普通三极电子枪SEM低压象分辨率的探讨

在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象信噪比差,由于空间电荷效应使成象色差加大,致使图象分辨率下降。通过对1000B型SEM的钨丝附极电子枪的不同几何尺寸和加速电压下的束斑直径、亮度、的测量以及高倍象的观察。探讨了改进低压象质量的途径。实验表明:普通三极电子枪在正常状态下,加速电压     

LS－1型扫描电镜拉伸台

本文着重介绍ＬＳ－１型扫描电镜拉伸台的设计思想与结构特点，文中还有应用实例。     

1000B型SEM普通三极电子枪低加速电压像的改进

通过对kyky—1000B型扫描电镜普通三极电子枪的不同几何尺寸、低加速电压下的束斑直径电子枪亮度、信噪比的测量,以及对低压高倍像的观察,探讨了观察低压象的条件。实验表明,在正常状态下加速电压低于5KV时,由于空间电荷效应,电子束斑点急骤加大;亮度急骤下降;致使图象分辩率变坏;S/N差,观察较高倍率很困难。对不同加速电压下缩短1000B SEM的阳—栅极间距离,使电子束斑直径明显减小,亮度提高半个数量级,使图象分辩得到明显改善。