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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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周口地区汾河、黑河、李贯河、晋沟河等许多大、中、小型河道上成功地建成了一座座新型水闸——河床式护坡闸。河床式护坡闸是一种技术先进的水闸,这一新闸型系由周口地区水利勘测设计院工程技术人员从外地引进的护坡闸雏型,结合本区多年来水闸设计的成功经验,并经过水工模型试验进行论证、改进了的一种结构新颖、构造简单、布局合理、美观大方、省工省料、施工方便的新型水闸。如:汾河商水县周庄节制闸、黑河太康县姬三官庙节制闸、李贯河淮阳县黄路口节制闸等等。这些新型水闸的建成并投入运用,为周口地区农田基本建设,改善农业生产条件,促进农业稳定健康发展发挥了重要作用。 相似文献
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随着我国粮食工业的发展,“八五”期间我国将建造一批大型机械化骨干粮库,而且以后大型机械化粮库将逐步替代中、小型粮库而成为我国粮食工业发展史上的重要一页。这些大型机械化粮库的建造,需要大量先进的大吨位粮食输送配套设备。目前,国内生产的斗式提 相似文献
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光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器。3 dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理,设计了3 dB耦合器波导的结构和参数,并用光学模拟软件OptiBPM对3 dB耦合器进行模拟。结果表明:所设计的3dB耦合器具有良好性能,符合设计要求。 相似文献