排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 20 毫秒
1
1.
2.
高深宽比孔/槽微结构现广泛应用于微机电系统(MEMS)与三维集成电路(3D-IC)等领域,是微纳器件的基础性工艺结构。随着器件微型化与功能化的发展需求,孔/槽微结构的深宽比不断提升。深度作为重要参数对器件加工工艺、器件性能有直接影响,微孔/槽结构深度的精确测量具有重要意义,但测量方法面临巨大挑战,成为测量领域的难题之一。针对这一问题,按照非光学和光学测量方式将测量方法分为两大类,介绍了扫描电子显微镜、扫描探针术、白光显微干涉技术、共焦显微技术和反射光谱技术等测量方法的工作原理,在微孔/槽深度测量方面的研究现状,尝试从中总结每种测量方法的优缺点,最后,讨论了未来高深宽比微结构深度测量发展趋势以及研究重点,为之后高深宽比微结构深度的测量技术研究提供帮助。 相似文献
3.
激光扫描技术的应用为古建筑和历史街区的保护提供了新的技术手段。该文首先介绍激光扫描技术的原理和应用现状;然后结合江阴市长径镇老街保护和整治规划的实际项目阐述了激光扫描技术的工作流程,其中包括传统历史街区的测量、基于扫描文件的CAD图纸的绘制;最后分析了激光扫描技术在古建筑与历史街区保护中的应用前景和亟待解决的问题。 相似文献
4.
江苏省美术馆新馆坐落于南京市长江路文化街区,与总统府隔街相望。它由两组个性鲜明、C形建筑体,通过对称、旋转、错位,组合而成。从高处俯瞰,整栋建筑由 相似文献
1