基于MPSoC的以太网接口设计与实现

研究了以太网在多核系统中的数据通讯,设计了以太网IP核到MPSoC网络资源的硬件接口。阐述了设计中各模块的实现功能和设计方法,通过仿真和FPGA验证结果表明,以太网接口数据通讯具有实时和高吞吐率。实现了多核系统与网络数据的信息传递,硬件设计结构简单、性能稳定可靠     

基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术

介绍了电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术的基本概念。结合英国STS公司的STS multiplex ICP system刻蚀机,介绍了刻蚀机原理及刻蚀过程。对硅深槽刻蚀技术进行了分析,对其中Footing效应、Lag效应和侧壁光滑问题提出了优化方案,最后在实验的基础上得出了能够刻蚀出高质量硅深沟槽的刻蚀参数。