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无线电
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1
1.
获得精细通孔图形的光刻技术改进
宋泳锡
劉聖烈
柳在一
張炳鉉
李禹奉
李貞烈
《液晶与显示》
2006,21(5):447-450
为了获得更高性能的TFT-LCD面板,在光刻时保证精细的图形成像十分重要,其中,如何制作出尺寸更小的通孔图形是主要的问题之一。本文提供的研究中,我们只简单地改变了一下烘烤工艺,而不需要改变Eop和显影时间,就可以将通孔图形的尺寸减小20 %~25 %。在后续的刻蚀工艺中,通孔的尺寸能显著减小。
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