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叉指式加速度计的一种仿真法分析 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子机械系统的快速发展对其建模仿真也提出了较高要求。首先介绍了一种微电子机械系统原理级描述仿真方法,它基于成熟的微机械元件库,提供微器件的原理级描述,使得仿真更简单、更高效,但目前其适用范围有限。然后介绍了用这种方法分析叉指式微电容加速度计的结果。 相似文献
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介绍了14位逐次逼近型的四路同步采样A/D转换器AD7865的性能特点及其在高速高精度采集系统中的应用,给出了由AD7865和单片机AT89S52构成的四通道并行数据采集系统的设计和测试结果,该采集系统在多路过载传感器输出信号的测试中得到很好的应用. 相似文献
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