全文获取类型
收费全文 | 40篇 |
免费 | 1篇 |
国内免费 | 46篇 |
专业分类
综合类 | 1篇 |
机械仪表 | 1篇 |
水利工程 | 1篇 |
无线电 | 67篇 |
一般工业技术 | 6篇 |
冶金工业 | 1篇 |
自动化技术 | 10篇 |
出版年
2020年 | 1篇 |
2019年 | 3篇 |
2017年 | 1篇 |
2015年 | 1篇 |
2014年 | 3篇 |
2013年 | 7篇 |
2012年 | 2篇 |
2011年 | 4篇 |
2009年 | 1篇 |
2008年 | 6篇 |
2007年 | 10篇 |
2006年 | 23篇 |
2005年 | 3篇 |
2004年 | 3篇 |
2003年 | 2篇 |
2002年 | 1篇 |
2001年 | 2篇 |
2000年 | 1篇 |
1999年 | 3篇 |
1998年 | 2篇 |
1997年 | 3篇 |
1996年 | 2篇 |
1995年 | 1篇 |
1994年 | 2篇 |
排序方式: 共有87条查询结果,搜索用时 281 毫秒
1.
为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒径二氧化硅胶体磨料配制了SIMIT8030-Ⅰ型新型纳米抛光液,在双垫双抛机台上进行抛光实验.抛光液、抛光前后厚度、平坦性能及粗糙度通过SEM、ADE-9520型晶片表面测试仪、AFM进行了表征.结果表明:与进口抛光液Nalco2350相比,SIMIT8030-Ⅰ型抛光液不仅提高抛光速率40%(14μm/h vs 10μm/h);而且表面平坦性TTV和TIR得到改善;表面粗糙度由0.4728nm降至0.2874nm,即提高抛光速率同时显著改善了抛光表面平坦性和粗糙度. 相似文献
2.
3.
单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 总被引:1,自引:1,他引:1
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面Deep ICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52 μV/g,谐振频率分别为309,302和156 kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%. 相似文献
4.
Chemical mechanical planarization(CMP) of amorphous Ge2Sb2Te5(a-GST) is investigated using two typical soft pads(politex REG and AT) in acidic slurry.After CMP,it is found that the removal rate(RR) of a-GST increases with an increase of runs number for both pads.However,it achieves the higher RR and better surface quality of a-GST for an AT pad.The in-situ sheet resistance(Rs) measure shows the higher Rs of a-GST polishing can be gained after CMP using both pads and the high Rs is beneficial to lower the reset current for the PCM cells. In order to find the root cause of the different RR of a-GST polishing with different pads,the surface morphology and characteristics of both new and used pads are analyzed,it shows that the AT pad has smaller porosity size and more pore counts than that of the REG pad,and thus the AT pad can transport more fresh slurry to the reaction interface between the pad and a-GST,which results in the high RR of a-GST due to enhanced chemical reaction. 相似文献
5.
纳米相变存储技术研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
相变存储技术是纳电子器件发展的主流技术之一,利用其电脉冲操作下的纳秒级的可逆相变过程制备的相变存储器(PCRAM),在嵌入式与大容量存储方面有巨大的商用价值与应用前景,已成为国际大公司开发的热点,PCRAM芯片容量与技术以超常规的速度发展,同时,针对纳米尺度的可逆相变机理、纳米尺度可逆相变的有效控制、低功耗的器件结构、已成为国际上科研界的研究热点,本文对上述情况进行综述,进一步给出我国的PCRAM的研究现状、工业基础、合作状况与展望. 相似文献
6.
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面Deep ICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52 μV/g,谐振频率分别为309,302和156 kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%. 相似文献
7.
8.
太赫兹量子级联激光器波导数值模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
采用传输矩阵法(TMM)计算比较了太赫兹量子级联激光器两种波导限制方式(单面等离子波导和双面金属波导)的特点.结果表明双面金属波导的限制因子较单面等离子波导的限制因子有明显的提高,具有良好的模式限制作用,可以有效地降低波导层的厚度. 相似文献
9.
相变存储器器件单元测试系统 总被引:7,自引:0,他引:7
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试.该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成.通过这些测试从而找出写脉冲信号与擦脉冲信号的高度和宽度的最佳参数、C-RAM器件的阈值电压、循环寿命等重要参数.此系统不仅为研究C-RAM器件的速度、功耗、可靠性等提供了一个途径,又为C-RAM的工艺和结构参数的研究提供了试验平台. 相似文献
10.