光学薄膜厚度的实时监控算法研究

从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法.     

光学薄膜厚度网络监控系统应用研究

以光电极值法为基本理论,以现代网络传输技术为基础,实现了光学薄膜厚度网络监控系统.文中主要描述了光电极值法的基本原理和网络监控系统的技术基础,并给出了详细实现方案及部署模型,最后通过实验验证了网络监控系统.