声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究

理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响.分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响.提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式.     

声表面波气体传感器的检测优化设计

介绍了声表面波气体传感器的检测原理.设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度.采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性.由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降.当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳.