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匀光系统的均匀性是实现深紫外CMOS图像传感器参数测试的关键。根据傅里叶光学理论,结合ArF准分子激光输出光斑特点,设计了复眼阵列匀光系统的初始结构,并在ZEMAX非序列模式下建立了匀光系统模型。针对ZEMAX光源中光线采样随机性的特点及匀光系统均匀性的要求,对追迹光线数目及复眼阵列中透镜元个数进行了优化。在透镜元大小为1mm、采用1亿根光线并做30次平均后,在12mm×12mm光斑范围内获得了均匀性为0.986的均匀照明光斑,满足CMOS图像传感器测试对光斑均匀性优于0.97的要求。 相似文献
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毛竹是我国南方广泛分布的重要竹种,具有良好的生态效益和经济价值。毛竹林与其他森林区分难度大,现有提取方法多直接采用已有的晴空观测,未充分考虑分类时相的影响,限制了提取精度。以浙江省庆元县为例,从地物光谱的季节曲线特征入手,利用MODIS高时间分辨率观测充分挖掘各植被类型光谱季节曲线特征和差异,结合多时相Landsat OLI影像进行分类实验,优选毛竹林与其他植被区分度最大的季相,并采用随机森林方法实现了毛竹林分布的有效提取。结果表明:①初、中秋是区分研究区毛竹林与其他植被的最优时相,夏季次之,春季与冬季较差;②当初、中秋无晴空影像时,结合夏冬季影像的毛竹林提取精度最佳,用户和制图精度分别达到85.57%和78.06%;③10月影像提取毛竹林分布精度最高,用户和制图精度分别达到89.00%和86.91%,与当地森林资源调查数据相比精度优于89.23%。实验表明:在类似亚热带地区毛竹林提取中,应优先选择秋季初、中期影像;若此时期无晴空观测,应优先采用夏季与冬季影像共同分类。 相似文献
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投影物镜是光刻机的重要组成部分,直接影响光刻技术指标,因此投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一。横向剪切干涉是重要的波像差检测方法,根据横向剪切原理,设计了高精度运动控制及图像采集系统以检测光刻机投影物镜波像差是否满足要求。该系统采用宏-微结构以同时满足行程和位置精度的要求;并由CMOS图像探测器实时采集保存剪切干涉图像。剪切干涉图像通过波前重建计算得到投影物镜的波像差,实验结果满足波像差检测重复性精度要求。该系统具有高集成、可扩展、操作简便和维护简单的特点,可广泛应用于相关领域中。 相似文献
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