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本文采用电子增强化学气相沉积(EACVD)方法,以甲烷和氢气的混合气体为原料制备金刚石膜,并结合拉曼光谱、扫描电子显微镜、顺磁共振谱等测试手段及光热偏转方法对影响金刚石膜热导率的因素作了实验研究。 相似文献
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光热偏转薄膜热导测试系统及其应用 总被引:2,自引:0,他引:2
根据光热偏转光谱(PTDS)原理,研制成功光热偏转法薄膜热导测试系统,对大量试样进行了测量,结果同文献参考值符合较好,测量重复精度优于50%,为材料科学有关热性质的研究,特别是有关光热偏转薄膜热导率的研究提供了有力的检测手段,为研制高质量金刚石薄膜提供了依据。 相似文献
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