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1.
高巧君  彭晓芙 《电子器件》1994,17(3):127-130
本文用不热形变栅状直丝化学气相沉积(CVD)法生长金刚石膜,在Si及WC-Co硬质合金衬底上金刚石膜晶面显露规律随衬底温度和甲烷浓度而异,经适当表面处理及选择合适的工艺条件,当生长初期衬底上就呈现出良好晶形的沉积膜,衬底与膜之间的粘结力能得到提高。Raman谱分析表明此膜仅具有特征金刚石1332cm ̄(-1)峰,通过SEM观察揭示出盒刚石膜可在表面、侧面及棱上生长,并与衬底有良好的联结。  相似文献   
2.
钎焊单层金刚石工具的工艺机理   总被引:2,自引:0,他引:2  
本讨论了金刚石表面与金属合金的浸润性,阐明了加入强碳化物形成元素促进金属合金对金刚石表面浸润与焊接的机理。这与金刚石表面金属化一样使金刚石单晶体可以被低熔点合金所焊接。这为钎焊单层金刚石工具的工艺提供了技术基础。本还讨论对比了电镀与钎焊单层金刚石工具表面结构、工具性能及制造工艺的特点。  相似文献   
3.
本文用粉末覆盖沉积法在金刚石表面生成了碳化铬。利用X射线及电子衍射结构分析,配合扫描电镜形貌观察,研究了磷化铬生成的动力学及在金刚石表面上生长的物理机制,从而揭示了金刚石表面金属化的机理。  相似文献   
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