闭式气浮导轨的理论分析与实验研究

一、导言本文所讨论的内容主要是闭式气浮导轨特性的理论分析与实验研究。目的是进一步了解闭式气浮导轨的性能并加以提高。闭式气浮导轨具有精度高,刚度高,稳定性好的特点,这在实践中已经证明。但是对于闭式气浮导轨性能的分析,目前只是采用J.W.Powell所著《空气静压轴承设计》一书所提供的方法,即开式气浮导轨性能迭加的办法。图1-1是两个相对安装的气体止推轴承特性曲线及迭加后的特性曲线。这也就是闭式气浮导轨的特性曲线。     

自吸式气体支承动特性的分析

自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支承的静态特性,本文的目的在于导出支承动特性的分析方法,从而为气体静压支承的设计提供依据。     

空气静压球面轴承的设计计算与实验研究

空气静压轴承由于具有摩擦小、寿命长、适于各种复杂环境的优点,因而已在各种精密机床、仪器与导航仪器及医疗器械、半导体设备等方面得到了日益广泛的应用。尤其是空气静压球轴承,由于它能承受径向和轴向载荷并可获得较高的回转精度,因而可作为高精度机床的主轴支承和高精度测量仪表的回转元件。它可使轴向跳动精度达到0.01μm,径向回转精度达0.05μm以上。但是这种轴承的设计计算及加工比较复杂,采用何种结构形式,如何计算工作参数,怎样加工精密球形零件,必须认真加以     

数字定位高速运动工作台

<正> 自六十年代初剑桥大学A.N.Broers在第六届三束国际会议上发表了可以利用电子束进行微细加工的理论和实验之后,68年美国OKeeffe等人提出采用电子束投影成像曝光法制作集成电路。到70年代中期,只短短十几年,电子束微细加工已经从诞生、成长走向成熟阶段。在这段过程中,曾经突破了几项关键技术。比如用L_aB_6提高电子枪的亮度;提高电子束的扫描速度;提高工件台定位精度和扫描速度;改变束斑形状等。其中,研究数字定     

控制静压轴承间隙进行精密定位机构的设计(研制报告之三)

1.前言在研制报告一、二中,已提出了应用静压轴承特性来制造精密定位机构的方案。报告论及了使用油为传动介质的方形断面静压轴承式精密定位机构,并分析了其定位精度、运动精度、动态特性以及温度干扰时的稳定性等问题。     

电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制

为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验。     

多孔质静压气体轴承设计（上）

多孔质静压气体轴承是一种有无数微小供气孔分布在轴承工作表面上而供气的空气轴承,它与多数供气孔静压轴承相比,负载能力大、刚度高。可是,多孔质材料其烧结成形表面的波度大、光洁度低,如果不进行特殊的精密加工拿来就用,轴承间隙会达到数十微米以上,根本不能使用,图1所示为采用多孔质材料的静压轴承。多孔质静压空气支承有两种常用的结构形式。一种是静压滑动支承,如图(a).它是用来承受轴向力的,为了工艺方便多做成独立的圆形或方形零件,俗称“气足”,另一种是常见     

多孔质静压气体轴承设计(下)

一、静压轴颈轴承设计多孔质静压气体轴颈轴承结构尺寸示意图如图10所示,同静压滑动止推轴承一样,假定忽略多孔质材料的内部阻抗,并假定只有内孔进行过阻塞处理,因此具有节流作用。轴承各部分尺寸标于图上并假设轴承有效长度2L,直径D=2R,轴承半径方向间隙C_r,轴的偏心率ε。图11(a)、(b)中给出了长径比L/R=1的气体轴承在供气压力比p_s/p_a=4,10两种不同值时的承载能力曲线,图的横轴为供气系数的二分之一(r_3/2),纵轴为无量纲载荷能力