超声跟踪法制作误差对器件性能的影响及补偿

研究发现快模入射超声跟踪氧化碲器件的布喇格损耗频响对于参数误差十分敏感,因而制作误差可能对器件性能有较大影响。本文系统研究了这种影响及其补偿方法,结果表明,当相邻两换能片之间中心距S有5%的误差和声偏置角丫_0有10%的误差时,通过调整入射角θ_1可作出完全的补偿。     

超声跟踪TeO2器件新设计及其性能比较

在超声跟踪反常器件设计中,用最小二乘法确定相邻换能器中心距s和超声偏置角γ_o两参数的近似值,并通过计算机程序完成精细调节,得到s和γ_o的优化设计值。计算结果表明,用最小二乘法得到的s和γ_o的近似值比过去用中心频率处△Γ和△Θ_α的函数值及一阶导数值相等所得到的近似值更接近于s和γ_o的优化值。因而优化过程更趋简单。将此新设计方法运用到TeO_2器件的具体设计中,并在相同条件下与正常声光器件的性能作比较。比较结果表明,对于相同的倍频程带宽和通带内1.5dB的不均匀性,反常器件的声光互作用长度较正常器件提高40%。     

激光全息术制造半导体器件生产用光刻掩模

在制造某特定半导体器件或集成电路时所用的整套光刻掩模版通常包括好几块(例如6块),按工艺流程的前后次序分别称为一次版、二次版、……。每次版都是某个图案(下面称之为单元电路)的大量重复像(例如数百个到上千个)。它们必须满足下列要求:(1)重复像的中心距必须严格一致,否则就可能造成各次版无法套准而不能使用;(2)像的可分辨     

阶梯结构一级超声跟踪时的布拉格带宽和声光器件的最佳设计

通过对确定频响(P_a(F))/(N_e²P_ao)~F的一般公式的理论分析,证明与平面结构的情况一样,阶梯结构的频响曲线亦在条件F₁+F₂=2下基本上对中心频率F=1对称。在此基础上,对各种换能器片数N_e计算确定了可能得到的最大布拉格带宽,并得到器件的最佳设计。     

厚度驱动模式压电换能器Mason等效电路的推导

本文将给出准静电场近似条件下压电效应的基本方程,并由此出发以最直接的方式详细推导压电换能器厚度驱动模式的Mason等效电路。     

平面结构一级超声跟踪情况下的布拉格带宽

本文就换能器片数N_e=4,并用一级干涉条纹(即p=1)进行超声跟踪的情况,详细计算了频率响应(P(F))/P₀~F,得到了获得对称响应时调整参数β的值和获得最大3dB布拉格带宽时设计参数s的值,从而为声光器件的合理设计提供了理论基础。     

TeO2二维声光扫描系统第二级器件的设计

本文运用超声跟踪反常声光作用的设计思想，对ＴｅＯ＿２二维声光扫描系统的第二级器件进行了设计。分析了第二级ＴｅＯ＿２器件工作在旋转角度变化情况下的θ＿ａ－ｆ曲线和ＢＬ－ｆ曲线。分析表明，器件工作状态对光旋转角的正负变换是对你的；相邻换能器中心距Ｓ和超声偏置角γ＿０两个设计多数必须取旋转角变化范围（０，）中某一值对应的优化值，从而使第二级器件在任何值的工作状态下边带内的超声损耗不均匀性皆小于规定值。设计结果表明，在倍频程带宽和通带内超声损耗不均匀性小于１．５ｄＢ的条件下，第二级ＴｅＯ＿２器件的最大换能片总数可取至１３，而相同条件下的第一级器件最大换能片总数为１５．相对声光互作用长度较第一级器件仅降低１４％。     

声光噐件的工作原理和设计方法 Ⅱ、反常布喇格绕射噐件

本文将综述声光器件的工作原理和设计方法。第一部分讨论此钼酸铅为代表的正常布喇格绕射器件,此时设计重点在于确定声光互作用长度L,引入声光器件的特征长度L。可使设计公式大大简化。第二部分讨论以氧化碲为代表的反常布喇格绕射器件将系统阐述氧化碲单晶的声学、光学和声光性质,并给出离轴型氧化碲偏转器Dixon方程的一般形式,通过对各种常用激光波长和不同离轴角求解Dixon方程,可对离轴角和工作频带作出合理选择。     

工作于1.064微米的TeO_2声光偏转噐

本文按文献[1]的思路计算离轴型氧化碲偏转器工作于1.064μ时的布拉格带宽。结果表明:当离轴角(?)_α=8°时,布拉格带宽可达到50MHz,因而可达到1000个可分辨点;又若改按Dixon方程的的第二组解工作时,布拉格带宽虽基本不变,但相对带宽△f/fc可下降至0.43,此时换能器用单层增透已足。     

中心频率为300MHz 声光器件的设计

本文介绍以钼酸铅或氧化碲为声光介质中心频率为300MHz的声光器件的设计,计算了以锡为粘合层时的换能器带宽并选择了镀层厚度。该器件的带宽为200MHz,从而可使器件的时间带宽积达到1000,初步满足声光信号处理和声光光计算机的需要。