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激光机械偏转器——振镜,在激光记录显示,信息处理及激光热处理等领域中有着广泛的应用。本文讨论了振镜产生误差的原因,特别讨论了线性度、重复性、滞后和温度漂移。为了提高振镜的性能,采用了相应的对策,这里着重讨论了振镜的闭环线路传感器线路以及恒温线路。 相似文献
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