第五届化学传感器国际会议评介

化学传感器国际会议(简称IMCS)和固态传感器执行器国际会议(简称Transducers'xx)是最权威最有影响的国际传感器学术会议。Transducer’811981年在美国波士顿举行,以后每两年开一次会,在这些会议上交流世界范围内物理传感器和化学传感器领域的最新研究成果,探讨未来的发展方向,推动传感器技术的发展。 1994年7月5th IMCS在意大利罗马的圣。托马斯大学举行,本次会议录取宣读论文122篇,其中5篇在全体会议作报告,11篇在三个分会场作特邀报告。218篇张贴论文在三个中午分12个专题张贴和讨论,论文囊括了气敏、电化学传感器、生物传感器、工艺及材料、湿度传感器、生物传感器、传感器系统、光学器件、声学器件及离子敏方面内容。 分组特邀报告往往能代表当前化学传感器界关注的焦点,这次会议的11个分组特邀报告为: (1)中国西安交通大学姚喜等,多孔二氧化硅孔     

微机电系统技术：—硅基微加工

当前流行的硅基做加工技术主要有体微加工（bulkmieromachining）和表面做加工（sutheemic。achini。）两种。它们之间的主要区别为：前者将微机械的运动部件制作在硅衬底里,后者则将微机械运动部件制作在硅衬底表面上的薄膜里”健体微加工技术目前用体微加工技术制作的主要产品有：某些压力传感器、加速度传感器。微泵、微阀、微沟槽等微传感器、微机械和微机械零件等,这些产品的微结构的显著特点是它们都有可运动的悬臂梁或桥、可振动的膜或硅衬底里的沟槽。这些微结构的形成主要利用腐蚀技术和光刻技术相结合,有选择地从硅衬底上挖去…